Эффективные методы синтеза голограмм с комбинированной структурой

Efficient methods of synthesis of holograms with a combined structure and mathematical modeling of holographic images Vitaly V. Chernik Engineer of the Laboratory of Control of Mechanical Systems, Ishlinsky Institute for Problems in Mechanics RAS, Moscow. The efficient methods for the synthesis of holographic masks, modeling of the holographic images exposure and images quality optimization have been developed based on the Fresnel-Kirchhoff approach. The methods are implemented as a software package in C for cluster systems. Numerical experiments for a classification of errors arising in the process of holographic lithography were conducted and a table of error tolerances are obtained. Methods of modeling holographic images under conditions of limited spatial coherence and coherence time are proposed. The layered design and corresponding corrections in the method of synthesis of holographic masks are proposed, as well as the method for calculating diffraction on a periodic layered structure based on Galerkin approach. The corresponding software module has been developed, the calculation results have been verified by analytical solutions on the limited class of structures and calculations by the approximate method. Эффективные методы синтеза голограмм с комбинированной структурой и математического моделирования голографических изображений Черник Виталий Валерьевич Инженер лаборатории механики управляемых систем Института проблем механики, г. Москва. На основе подхода Френеля-Кирхгофа разработаны методы синтеза голограммных масок, моделирования получения голографических изображений и их оптимизации. Методы реализованы в виде программного комплекса на языке С для кластерных систем, с помощью которого получена классификация погрешностей, возникающих в процессе голографической литографии и таблица допусков на погрешности. Предложены методы моделирования голографических изображений в условиях ограниченной временной и пространственной когерентности источника. Предложена слоистая архитектура и соответствующие коррекции в методе синтеза голограммных масок, а также метод расчёта дифракции на периодической слоистой структуре на основе метода Галёркина. Разработан соответствующий программный модуль, результаты расчетов проверены аналитическими решениями и расчетами приближенным методом на ограниченном классе структур.