Формирование элементов микроэлектроники аддитивными технологиями печатная электроника

Лекция директора Института квантовых технологий МФТИ, член-корреспондента РАН Виктора Иванова «Формирование элементов микроэлектроники аддитивными технологиями – печатная электроника». О чём лекция? Печатная электроника – область микроэлектроники, в которой электронные элементы и устройства создаются аддитивным способом доставки функционального материала с использованием специального печатного оборудования и в качестве носителя материала чернил (нанодисперсных суспензий) или аэрозолей. Ряд изделий микроэлектроники в микронном диапазоне размеров многократно экономичней изготавливать технологиями печатной электроники, причем на различных плоских и неплоских подложках, таких как бумага, полимеры и текстиль, создается оборудование для крупносерийного и высокопроизводительного производства электронных устройств. Для развития нового поколения печатной электроники разрабатываются неорганические полупроводниковые материалы с достаточно высокой подвижностью носителей заряда (10 – 1000 см²/В·с) и активные элементы на их основе. В качестве перспективных неорганических полупроводников исследуются металл-оксидные полупроводники, полупроводниковые нанокристаллы в форме нанопроволок, нанолент и наномембран на основе Si, GaAs, GaN, InAs, MoS₂, MoSе₂ и др. Особый интерес проявляется к работам по созданию элементов микроэлектроники на основе полупроводниковых углеродных нанотрубок, характеризуемых подвижностью зарядов в 10 раз превышающей монокристальный Si.